英特爾公司位于菲尼克斯市Ocotillo的芯片工廠。該廠主要生產英特爾奔騰處理產品和全新英特爾迅馳移動處理器技術,其中還包括用于移動產品或網絡電腦的產品。Ocotillo工廠是專門生產0.13微米技術芯片的英特爾大型工廠。
英特爾Ocotillo工廠員工停車場
英特爾Ocotillo工廠外觀
英特爾Ocotillo工廠外觀
英特爾Ocotillo工廠員工在做工廠介紹的講解
記者們在試穿芯片工廠特有的工作服
英特爾工廠車間
英特爾工廠車間
英特爾工廠車間
無塵車間,可以注意一下地板。工作人員必須穿防塵服,免得讓晶圓遭受污染。遠處技術人員所抱的“黑匣子”名字叫“lot”,里面裝的就是晶圓。他要做的是把這個“lot”安裝在一個機器(或者是叫處理工具)當中。基于成本方面的考慮,只有“lot”入口是在無塵房間中,而其他部分是在低于無塵等級的“chase”當中。
在這里順便給大家說一下,很多車間中需要使用紫外線照射,這是必不可少的,但是在無塵車間(cleanroom)中通常要使用白光,而我們剛介紹的無塵車間使用的是橙色光,這又與其他的無塵車間使用的不同,因為這里是晶圓加工的初步工序,而原因是photoresist層對白光非常敏感。
英特爾工廠車間
英特爾工廠車間
英特爾工廠車間
英特爾工廠車間
英特爾工廠車間
工作人間不能直接的接觸晶圓片,而是要放在一個叫“lot”的黑色方盒子中,每個盒子能放25張晶圓片。在Intel工廠中,lot采用的是鋁材料做金屬層,并且為黑色,晶圓片采用的銅做材料,為橙色。
從一個無塵房間到另一個無塵房間,lot都是按照預定軌跡自動的被傳送。注意大約天花板的高度,那個軌跡就是用來傳送lot的。在某些條件下,lot是被直接的輸送到相應的機器當中,不需要人工的干預。在每臺機器上都有一個屏幕,方面技術人員觀察目前機器工作情況以及晶圓片處理到了哪種程度上。
房頂上的運輸機
英特爾工廠車間
英特爾工廠車間
英特爾工廠車間
英特爾工廠車間
英特爾工廠車間
英特爾工廠車間
文章來源: 科技世界